Ketepatan pemesinan alat mesin pemotong logam CNC telah dipertingkatkan daripada paras wayar asal (0.01mm) kepada paras mikron (0.001mm), dan beberapa jenis telah mencapai kira-kira 0.05μm. Untuk-pemotongan dan pengisaran alat mesin CNC ultra-kepersisan mikro, ketepatan boleh stabil kira-kira 0.05μm dan ketepatan bentuk boleh mencapai kira-kira 0.01μm. Ketepatan pemprosesan khas menggunakan sumber cahaya, elektrik, kimia dan tenaga lain boleh mencapai tahap nanometer (0.001μm). Melalui pengoptimuman reka bentuk struktur alat mesin, pemasangan ultra-kemasan dan ketepatan bahagian alat mesin, penggunaan{12}}kepersisan tinggi{13}}penuh{14}kawalan{14}}kawalan gelung dan teknologi pampasan ralat dinamik seperti suhu dan getaran, ketepatan geometri pemprosesan alatan mesin dipertingkatkan dan kekasaran, dll. ralat permukaan. , supaya memasuki era penamat-mikron dan nano-ultra-skala.
